2차전지용 X-ray(CT) 검사장비 전문기업 이노메트리가 지난 16일 서울 포스코타워 역삼 이벤트홀에서 개최된 ‘전자신문 테크데이: 유리기판의 모든 것’ 컨퍼런스에 참가해 유리기판용 비파괴검사 솔루션을 소개했다고 17일 밝혔다.
이갑수 이노메트리 대표는 검사장비 부문 대표 기업으로 발표에 나서 X-ray(CT)를 이용해 TGV(Through Glass Via) 공정의 미세 결함을 확인하는 기술에 대해 설명했다.
이 대표는 "TGV 공정이 끝난 뒤 미도금, 미충진, 기공생성 등 다양한 불량을 정밀하게 검출하는 인라인 전수검사 장비에 대한 기술검토를 완료한 상태이고, 추후 크랙, 회로 빌드업 등 추가검사에 대한 연구도 진행 중"이라며 "보안상 상세히 밝힐 수 없으나 주요 고객사들과 유리기판 조기 상용화를 위한 협업 및 기술제휴를 지속하고 있다"고 말했다.
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