아스타, '반도체 공정 최적화' 고감도 기체 분석 장비 개발…"글로벌 기업서 본격 양산 평가"

아스타는 유기발광다이오드(OLED) 검사장비와 이차전지 검사장비 등의 산업용 분석장비를 개발해 세계 1위의 기업에 공급해 왔다.

아스타는 비행시간형(Time-of-Flight, TOF) 질량분석 기술을 바탕으로 반도체 생산 공정에 최적화된 고감도 실시간 기체 분석 장비를 개발했으며, 이미 개발된 장비를 세계적인 반도체 기업에서 양산평가를 하게 됐다.

이번 사업은 반도체 제조 공정에서 사용되는 기체들을 실시간으로 고정밀 모니터링할 수 있는 질량분석시스템의 양산 성능을 평가하고, 생산 현장에 적용 가능한지 확인하는 것이 목표다.