20일 업계에 따르면 지난 19일 디르크 벨야르츠 네덜란드 경제부 장관을 포함한 정부 관계자들과 피터 베닝크 ASML 전 CEO는 경기 평택에 있는 삼성전자 반도체 공장을 방문해 디바이스솔루션(DS)부문 경영진들과 회동한 것으로 알려졌다.
삼성전자가 반입을 앞둔 ASML의 첨단 장비인 '하이 뉴메리컬어퍼처(High-NA) EUV 노광장비'와 연구개발(R&D) 협력, 투자계획 등에 대한 이야기를 나눴을 것이라는 관측이 나온다.
베닝크 CEO 재임 시절인 2023년 말 ASML은 삼성전자와 경기 화성에 1조원을 들여 첨단 반도체 미세 공정 기술을 개발하는 대규모 연구 시설을 짓기로 하고 현재 추진 중이다.
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