부산대 ASE 기술 활용 고온서 구리 산화 막는 기술 개발

부산대학교는 광메카트로닉스공학과 정세영 명예교수 연구팀과 성균관대학교, 미국 미시시피주립대학교 공동 연구진이 원자 한 층의 차단막을 도입해 구리의 전기 전도도는 그대로 유지한 채 고온에서 산화를 막는 기술을 개발했다고 11일 밝혔다.

연구팀은 부산대 정세영 교수 연구실에서 개발한 박막 성장 기술인 ASE법을 활용해 실리콘(Si)을 증착한 것으로, 400도의 고온에서도 금속 표면의 산화가 억제되는 것을 규명했다.

정 교수 연구팀은 이전 연구에서 구리 표면이 원자 한 층의 계단 형태로 이뤄져 있으면 상온에서 산화를 방지할 수 있다는 것을 밝혀냈다.