한화정밀기계 "한미반도체 특허 침해 사실무근"···강경 대응 예고

한화정밀기계가 반도체 장비 특허를 침해했다는 한미반도체 측 주장에 정면으로 반박하고 나섰다.

19일 한화정밀기계는 이날 공식 입장 자료를 통해 "한화정밀기계는 30년 넘는 반도체 장비 관련 R&D 기술을 기반으로 자체 개발한 제품을 제조·판매하고 있다"면서 "개발과정에서 선행기술 조사과정을 거치고 있으므로, 특정사가 자신의 특허를 침해하였다는 주장은 사실과 다르다"고 밝혔다.

이는 한미반도체가 한화정밀기계의 TC(열압착) 본더 특허 기술 침해 의혹을 제기하며 서울지방법원에 소송을 건 데 따른 조치다.