“NF3 사용량 증가…‘점유율 선두’ 국내 업체 주목해야”

이동욱 IBK투자증권 연구원은 2일 보고서에서 “반도체 공정의 초미세화, 고집적도와 함께 OLED 등장으로 인한 첨단공정 수 증가로 최근 NF3 사용량이 증가하고 있다”며 “국내 NF3 업체들의 세계 선두 시장 점유율이 지속하리라고 전망한다”고 말했다.

이후 실리콘 재료의 에칭과 태양전지 제조 장비의 세정제로 사용되다가 현재는 반도체 주요 공정인 CVD 챔버 내에서 웨이퍼에 박막을 입힌 후 남는 SiO2, SiN4와 같은 불순물과 반응해 SiF4로 변하면서 내부를 세척하는 용도로 주로 사용되고 있다.

이에 SK스페셜티는 수요 증가에 대응하기 위해 현재 연간 1만 3500톤의 NF3 생산능력을 확보해 세계 1위 업체 지위를 지속하고 있으며, 수요 증가에 선제 대응하기 위해 NF3를 추가 확장할 계획이다.