KAIST, 美 버클리대와 미래 반도체 소재 분석 정확도 향상

그동안 측정 대상 물질의 특성으로 알려졌던 오차가 실제로는 현미경 탐침 끝부분과 물질 표면 사이의 극미세 공간 때문이라는 사실을 확인해 반도체, 메모리 소자, 센서 등에 활용되는 나노 소재 특성을 정확하게 분석할 가능성을 제시했다.

한국과학기술원(KAIST)은 홍승범 신소재공학과 교수 연구팀이 레인 마틴 미국 버클리대 교수팀과 국제 공동연구를 통해 주사탐침현미경 측정의 난제였던 신호 정확도를 막는 핵심 요인을 규명하고, 이를 제어할 방법을 개발했다고 18일 밝혔다.

이 간극은 측정환경에서 쉽게 변조되거나 오염물질로 채워져 전기 측정에 영향을 미치는 것으로 나타났다.