KTL 초순수 입자 분석용 표준물질 2종 개발

한국산업기술시험원(KTL)은 반도체 초순수(UPW) 입자 분석용 표준물질 2종을 개발해 우리 기업의 관련 국내외 시장 진출의 발판을 마련했다고 8일 밝혔다.

KTL은 우리나라 반도체 기업은 반도체용 초순수의 생산·공급을 일본, 프랑스 등 해외기술에 의존하고 있어 수출규제 등 외부환경에 매우 취약하다고 전했다.

유동훈 KTL 수석연구원은 "국가 핵심기술인 반도체 공정에 사용하는 초순수용 입자표준물질 개발은 반도체 기반산업 구축의 초석"이라며 "초순수용 설비 수질 모니터링을 위한 표준화 및 국산과 외산의 비교 성능시험을 통해 우리나라 기술이 국내뿐만 아니라 세계에서도 경쟁할 수 있도록 최선의 노력을 다하겠다"고 말했다.