[지금은 과학] 화학물질 없이 식각하는 반도체 기술 나왔다

KAIST 신소재공학과 홍승범 교수 연구팀은 제네바 대학교와 국제공동연구를 통해 '강유전체 표면의 비대칭 마멸 현상'을 세계 최초로 규명하고, 이를 활용해 혁신적인 나노 패터닝 기술을 개발했다고 26일 밝혔다.

차세대 반도체 메모리 소재로 주목받고 있는 강유전체를 화학물질없이 식각할 수 있다면 기존의 반도체 패터닝 방식과는 달리 고비용의 리소그래피 장비가 필요하지 않고, 기존 공정 대비 매우 빠르게 나노 구조를 제작할 수 있는 장점이 있다.

연구팀은 나노 단위의 매우 작고 날카로운 탐침에 전기장을 가해 강유전체의 분극 방향을 바꾸고, 기계적으로 마모를 일으키면 표면의 분극 방향에 따라 마모되는 특성이 달라져 나노 구조를 쉽게 제작할 수 있다는 사실을 알아냈다.