K-초순수 나왔다…한성크린텍, 초순수 국산화 성공
이엔코퍼레이션(066980) 은 자회사 한성크린텍이 반도체용 고순도 공업용수(초순수)의 국산화를 통한 기술자립화에 성공했다고 12일 밝혔다.
(사진=이엔코퍼레이션) 한성크린텍은 지난 2021년 7월부터 초순수 생산공정 국산화 플랜트 기술개발 국책과제에 참여해왔다.
지난 10일부터는 실증플랜트에서 생산하는 초순수를 구미 SK실트론 반도체 웨이퍼 공정에 시범공급하고 있다.
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