[엠투데이 이상원기자] 세계 최대 파운드리업체인 대만 TSMC가 자국 공장에 있는 EUV 노광장비에 '자폭 장치'를 설치했다.
IT전문 매체 ‘tom’s 하드웨어‘에 따르면 TSMC는 네덜란드 ASML에서 도입한 첨단 반도체 칩 제조 장비인 EUV 노광방비에 '원격 킬 스위치'를 설치한 것으로 알려졌다.
EUV 노광장비는 웨이퍼 위에 빛으로 회로를 새기는 노광공정에 사용되는 세상에서 가장 복잡한 기계로, 이 장비는 네덜란드 ASML이 독점 공급하며 최근 제작된 첨단 장비는 대당 가격이 5천억 원을 웃도는 것으로 알려져 있다.
EUV 노광장비는 EUV 광원을 활용한 13.5nm 빛 파장으로 EUV를 활용하면 기존 193nm의 ArF 보다 웨이퍼에 14배 정도 얇은 회로를 그릴 수 있어 7nm 이하 반도체를 생산하기 위해선 EUV 노광장비가 반드시 필요하다.
이 장비는 연간 공급량이 50대 미만에 불과, TSMC와 삼성전자, 인텔, SK하이닉스 등 반도체 제조업체들이 치열한 확보 경쟁을 벌이고 있다.
대만에 있는 TSMC 공장의 경우, 중국과의 분쟁 발생 시 이 장비가 중국으로 넘어갈 수도 있어 대만은 물론 미국까지 큰 관심을 갖고 있다.
업계에 따르면 미국은 대만 정부와 TSMC에 반도체 칩 제조 능력이 중국에 넘어가지 않도록 보장할 것을 요구해 왔으며, TSMC는 이를 수용, 최근 EUV 장비에 보안을 위한 원격 킬 스위치를 장착한 것으로 알려졌다.
지난해 미국의 한 하원의원은 중국이 대만을 침공할 경우, 미국이 대만 TSMC 시설을 폭격할 수도 있다고 밝혔으며 대만 정부는 미국을 포함한 그 누구의 공격도 반대한다며 반발했다.
블룸버그통신도 동아시아에서 전쟁이 발발할 경우, TSMC의 반도체 칩 제조 능력이 잘못된 곳으로 들어갈 수 있다는 위협 때문에 TSMC와 ASML은 현재 유일한 최첨단 2nm 칩을 만들 수 있는 EUV 노광장비를 원격으로 폭파시킬 수 있는 ’킬 스위치‘를 설치했다고 전했다.
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