반도체 8대공정중 세정공정은
여러공정을 거치면서 웨이퍼 표면에 있는 화확물질,가스같은 불순물 제거하는 공정임
이 공정이 없으면 수율도 떨어지고 불량,결함이 생기기때문에 무조건 필요한 공정
세정공정중에 방법이 많은데 웨이퍼를 회전시켜서 물을 뿌려 웨이퍼 표면을 세정시키는 방법이
그림 오른쪽에 있는 SPRAY 방식
이때까지 초순수물을 대부분 일본이 독점하고 있었는데 이제 국내에서 생산가능하다고 함
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