반도체 생산 고순도 중수소암모니아 국산화 기술 개발
윤형철 박사 연구진은 중수소 질소를 직접 반응시켜 99% 이상의 고순도 중수소 암모니아를 상업적으로 사용 가능한 정도의 기술을 확보했다.
또 개발된 공정에서는 반도체 성능에 영향을 미치는 불순물이 생성되지 않아, 초고순도의 중수소 암모니아를 안정적으로 생산할 수 있음을 확인했다.
반도체·디스플레이·정밀 분석용 고순도 동위원소 특수가스 국산화 기반을 확보하고, 해외 수입 의존 구조 개선 및 안정적인 공급망 확보가 가능하다.
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